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L-P2106感光抗蝕油墨在LCD圖形制造全過程(2)

2007/8/10 15:04:24 人評論

      4、預(yù)干燥:   如前面所言,此油墨在常溫下為液態(tài),因此需將在80-90℃的溫度加溫15~30分鐘,使其溶劑揮發(fā),成為固態(tài)的感光掩膜?! ?.1 烘箱干燥(在有熱風(fēng)循環(huán)的情況下):80~90℃,15~30分鐘  4.2 遠(yuǎn)紅外干燥線:80~90℃,6分鐘  4.3 高紅外干燥線:80~90℃,1~1.2分鐘  應(yīng)說明的是高紅外干燥線時(shí)間短、成本低,而且在瞬時(shí)間內(nèi)紅外線可穿透墨層直達(dá)承印物的表面因此干燥后不返粘是最理想一種預(yù)干燥方式?! ?、曝光及專用曝光設(shè)備:  5.1 光源的選擇:  1)紫外光所發(fā)的光能為光引發(fā)劑所利用,所發(fā)射的光譜應(yīng)和引發(fā)劑的光譜相匹配?,F(xiàn)大都用鹵素?zé)?,其發(fā)光原理以高壓汞燈為例:真空燈管內(nèi)的水銀和填加物在高壓中進(jìn)行蒸發(fā)形成發(fā)光體。發(fā)出的光譜能激發(fā)油墨中的引發(fā)劑和感光體,從而形成墨層的交聯(lián)。常用的以高壓汞燈為多見。  2)電能轉(zhuǎn)為紫外光能的效率高,而發(fā)熱量小?! ?)光能應(yīng)用較高的強(qiáng)度。如果強(qiáng)度太低,自由基產(chǎn)生過慢,氧氣阻聚嚴(yán)重,影響成像質(zhì)量?! ?.2 光譜峰值的匹配和選用:  1)光源:在油墨供應(yīng)商的技術(shù)資料中,都未提供感光抗蝕油墨曝光的光譜值,但是所有的鹵素?zé)艉透邏汗療舻墓庾V范圍適合于此油墨的曝光,只是強(qiáng)度的差異?! ?)曝光臺面選用優(yōu)質(zhì)的滌綸膜,厚度為0.175mm,應(yīng)無劃道和擦傷,UV的透射率優(yōu)良,光譜為365-400nm時(shí)其透射率為85%以上。  70年代初美國生產(chǎn)的曝光機(jī)的臺架所用滌綸就更換為凸凹面了,它的優(yōu)點(diǎn)是紫外光透射性強(qiáng),導(dǎo)氣性好,吸真空速度快和抽真空無死角等,所以不需用刮板和自制的工具趕氣,底片也不會(huì)位移,在LCD細(xì)線的制造中尤為突出。據(jù)悉目前我國已經(jīng)有這種材料面世。應(yīng)提醒的是凸凹面的滌綸膜,是在拉制中用專用模具加工的,凸出的表面和底面的光潔度非常高,因此在購置和使用中千萬不能和麻面或毛面的滌綸膜相混淆?! ?) 反光罩和平行光:嚴(yán)格講,我們所使用的光源均為點(diǎn)光源,如何能獲得平行光或光源投在臺面的各有效部分的能量差別最小是是衡量曝光機(jī)水平和性能的主要指標(biāo),這個(gè)指標(biāo)主要取決于反光罩的設(shè)計(jì)和制造水平。反光罩都為橢圓形,許多廠家反光罩的圖紙是保密的。這是因?yàn)橐@得平行光,尤其是臺面的邊緣位置獲得和中心部位相同的能量是很難的。關(guān)鍵是看誰家能把這能量差縮到最小。所以光罩的幾何尺寸確定后就是如何使反光罩的表面吸收的光最大程度的反射到臺面上。一般是將表面進(jìn)行凹凸面的處理,最后再將表面進(jìn)行電拋光或化學(xué)拋光,使表面達(dá)到或接近鏡面水平。反光罩均由鋁鎂合金制成因?yàn)殇X是唯一能夠反射200-450nmUV光的反射材料。表面有保護(hù)層,優(yōu)良的反光罩有75%的UV光反射到表面,其余25%的能量已直接輻射到表面,中心部位和邊緣的光強(qiáng)不超過15%誤差?! ?) 光能量和曝光時(shí)間的控制:理想的曝光機(jī)都應(yīng)有能量的顯示,而時(shí)間控制精度顯示應(yīng)在0.5-0.25S,在LCD的ITO層的圖形制造中尤為重要。光能量和曝光時(shí)間的準(zhǔn)確,可杜絕曝光過度和不足,是整體質(zhì)量控制的重要環(huán)節(jié)?! ?.3 光能量的計(jì)量:  1) UV光度計(jì)的應(yīng)用:為保證精確的曝光能量,曝光時(shí)大都采用UV光度計(jì)和梯度尺作為測量工具,曝光強(qiáng)度用UV光度計(jì)測量?! y量方法:測量時(shí)將UV光度計(jì)的探頭放在曬板架薄膜的下面,探頭面朝上。把探頭放在不同的位置可測出光照的不同數(shù)據(jù)。一般至少測5個(gè)點(diǎn),即中間一點(diǎn),四角各一點(diǎn),看各部位光強(qiáng)是否一致,以便操作時(shí)注意調(diào)整,UV光度計(jì)是一種量具,使用一段時(shí)間后將產(chǎn)生誤差,為保持其精度應(yīng)定期送往國家計(jì)量部門鑒定?! ∑毓鈴?qiáng)度的測量和能量的計(jì)算:首先將UV光度計(jì)調(diào)整到0位,再將探頭放入曬架內(nèi),并推入曝光區(qū),5s后進(jìn)行觀察,讀數(shù)據(jù)即為光的強(qiáng)度1。計(jì)量單位:mw/cm2。  2) 光能量:E=IT  I=光強(qiáng)度mw/cm2,E=光能量  mj/cm2,T=時(shí)間(秒)  有的自動(dòng)UV光度計(jì)不需計(jì)算,隨著曝光時(shí)間的加減可以自動(dòng)顯示曝光能量?! ?)梯度尺的應(yīng)用:梯度尺也是用來測量曝光數(shù)據(jù)的工具,它是通過試樣曝光顯影,最后讀取保留的格數(shù)(注意:在測量時(shí)每次顯影液的濃度、溫度和傳送速度必須一致才能準(zhǔn)確性)。梯度尺有17級、21級、25級三種。目前使用21級居多。21級光梯度尺相鄰兩格的透光率為  2 =1.414。即每增加一格需增加曝光量的1.414倍,許多工廠使用21格梯度尺時(shí)總是按往常的經(jīng)驗(yàn),根據(jù)第一次的曝光顯影格數(shù)來加減時(shí)間,直至達(dá)到所要求的格數(shù)為止。這樣不僅耗費(fèi)了許多工時(shí),有時(shí)還不十分準(zhǔn)確。為此根據(jù)相鄰兩格之間透光率的倍數(shù)關(guān)系,制作一系數(shù)表。

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