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L-P2106感光抗蝕油墨在LCD圖形制造全過程(3)

2007/8/10 15:04:24 人評論

21級光梯尺基數(shù)系數(shù)對照21級光梯尺級數(shù)21級光梯尺系數(shù)21級光梯尺級數(shù)21級光梯尺系數(shù)11.414922.59021.9991031.94232.8271145.16743.9971263.86655.6511390.30667.99014127.693711.29815180.557815.976   取得規(guī)定級數(shù)(最佳級數(shù))所需曝光時間的計算可按下述方法(在光源泉固定的情況下)。  4)曝光時間的計算:  a.增加級數(shù):按要求增加的級數(shù)選擇曝光系數(shù)乘以原測定級數(shù)的曝光時間就是你所需級數(shù)的曝光時間。  例如:曝光16s按正常的顯影(溫度、濃度、時間)所測為6級,而推薦為8級,則還需增加2級。查得2級系數(shù)為1.999,所以要獲得8級的曝光時間為16s×1.999=31即為31s。  b.減少級數(shù):同樣要按要求減少的級數(shù)選擇,然后除以原測定的級數(shù)的曝光時間,就是您所需的曝光時間?! ±纾浩毓?0s測得為13級,而推薦為8級,按所規(guī)定級數(shù)需減少5級,查得5級的系數(shù)為了5.651,所以要獲得8級的曝光時間應(yīng)為40s÷5.651=7s?! ?.4 光能量、墨層厚度、解像性:  1)L-P2106型感光抗蝕油墨光能量與油墨厚度關(guān)系。  2)L-P2106型感光抗蝕油墨光能量與解像性。  表2在不同曝光能量下的解像性(顯影時間22s,膜厚10μm)mW/cm2=5mj/cm2406080100120140160180200線距μm88889991012      5.5 細線條的曝光和氧的阻聚:  在制造2mil的線寬時要考慮影響它的因素,我們這里只想討論細線的曝光。制造2mil線寬時盡管因素很多還是勉強可行的,但在制作1mil的線寬或小于1mil時,線條的陡直和邊緣的整齊程度就無法保證。這是因為,油墨中O2的阻聚是個問題,它能使光化交聯(lián)速度變慢直至阻止,嚴重時還能使表面發(fā)粘。O2的作用有兩方面:  一是對引發(fā)劑的影響,它可使激發(fā)狀態(tài)的光敏劑猝滅,從而降低了引發(fā)劑的效率。二是在聚合過程中有阻聚作用?! 榱吮苊釵2的干擾,使油墨在UV光下完成光聚合,專家們進行了長時間的試驗,找出了幾種方法來躲避O2的干擾?! 〉谝环N方法即物理方法:將O2與固化體系隔離,但操作起來較難,可是這種方法用在PCB制造圖形的干膜上,由于干膜有滌綸覆蓋,曝光使能較好得把O2排斥在外。但0.02mm厚的聚脂膜將UV光進行了輕微程度的折射和散射,也對制作細線造成了障礙?! 〉诙N方法是在油墨的配方中選擇好的光敏引發(fā)體系?! 〉谌N方法是提高光引發(fā)劑的濃度,將表面的氧氣速度消滅,從而導(dǎo)致表面速度固化,而固化的表面可阻擋氧的擴散。另外在光敏樹脂中加入干性油,利用干性油吸氧固化的特點來減少氧的影響?! 【C上所述,盡管為感光油墨避氧想出了許多辦法并已經(jīng)在新制造的油墨中實施,在用戶使用中收到一定的效果,但如果制造細線首先要在曝光強度上下功夫(當(dāng)然還有其它條件,就不在此多述)。  在油墨的曝光中,光的強度是一影響非常大的變數(shù),如我們平時所用國產(chǎn)曝光機,采用4KW曝光10s,能使線條獲得滿意效果,若用2KW曝光20s時,線條相對變粗變細許多,這是因為感光抗蝕油墨的上層受UV光照后很快產(chǎn)生交聯(lián),但因強度的關(guān)系,UV光不能很快進入下層,這時O2從非曝光區(qū)被輸送到缺氧的曝光區(qū),這是由于濃度升降的差異,此時因時間的加長以及光的擴散部分交聯(lián)和聚合不能完成,停留在曝光區(qū)及其周圍。此現(xiàn)象多出現(xiàn)油墨厚10-15μm左右的范圍內(nèi),因此涂層絕對不能厚?! ∮湍^厚,UV強度不足時光線射入底層時間較長,的以在制造細線時必須提高曝光強度和縮短曝光時間(保持一定的光能量),這樣使溶解O2的速度快于擴散進入曝光區(qū)的速度;要求在非曝光區(qū)的氧還來不及進入曝光區(qū)時已經(jīng)完成曝光程序(聚合和交聯(lián)完成),總之在規(guī)定的光能量下曝光強度越高,時間越短,是獲得細線條的必要保證。

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