一種發(fā)光粉包封膜的制備方法被研制成功,該方法制備出的發(fā)光粉制作的電發(fā)光器件不需再作整體包封。氮化硅是一種透明材料,化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定密封性好,介電常數(shù)和絕緣系數(shù)高,耐擊穿性強(qiáng),能有效地防止離子的遷移。由于氮化硅化合物的溫度較高(900℃以上),會(huì)導(dǎo)致發(fā)光粉的發(fā)光亮度降低,因此采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積。等離子體能量大,電子溫度高,使硅烷和氨氣在較低的溫度下化合成氮化硅。
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